等離子清洗機設備的構造與運行過程

等離子清洗機設備的基本構造：

  根據(jù)用途的不同，可選用多種構造的等離子清洗機設備，并可通過選用不用種類的氣體，調整裝置的基本結構大致是相同的，一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、點擊、氣體導入系統(tǒng)、工作傳送系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉油泵，高頻電源通常用13.56MHz的無線電波，設備的運行過程如下：

  （1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，啟動運行裝置，開始排氣，使真空室的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要2min。

  （2）【等離子噴槍】向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在100pa。根據(jù)清洗材質的不用，可分別選用氧氣、氫氣、或氮氣等氣體。

  （3）在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體完全籠罩在被處理工件，開始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。

  （4）清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及汽化的污垢排出，同時向真空室內(nèi)鼓入氣體，并使氣壓升至一個大氣壓。

本文編輯于http://xinfangyun.cn