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技術資料

等離子清洗機的基本知識、清洗原理

 

  什么是等離子清洗機:

  等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態(tài),也叫做物質的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔等目的。

  等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質的一種狀態(tài),也叫做物質的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的”活性”組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

  等離子清洗機原理:

  等離子體是物質的一種存在狀態(tài),通常物質以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態(tài)中存在下列物質:處于高速運動狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應的分子、原子等,但物質在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

  在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等體子體轟被清洗產(chǎn)品面.以達到清洗目的.

  我們在長期從事等離子體應用技術研究和設備研制的基礎上,充分借鑒歐美的先進技術,并通過與國內(nèi)外著名研究機構的技術合作,開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權的電容耦合放電、電感耦合放電和遠區(qū)等離子放電等多種放電類型的產(chǎn)品。特色鮮明的處理腔體形狀和電極結構可以滿足不同形狀、不同材質的表面處理要求,包括薄膜、織物、零件、粉體和顆粒等。

 

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