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技術資料

低溫等離子體介紹1

 

等離子體的分類

1、按等離子體焰溫度分:
1)高溫等離子體:溫度相當于108~109 K完全電離的等離子體,如太陽、受控熱核聚變等離子體。
2)低溫等離子體:
熱等離子體:稠密高壓(1大氣壓以上),溫度103~105K,如電弧、高頻和燃燒等離子體。
冷等離子體:電子溫度高(103~104K)、氣體溫度低,如稀薄低壓輝光放電等離子體、電暈放電等離子體、DBD介質阻擋放電等離子體、索梯放電等離子體等。
2
、按等離子體所處的狀態(tài):
1)平衡等離子體:氣體壓力較高,電子溫度與氣體溫度大致相等的等離子體。如常壓下的電弧放電等離子體和高頻感應等離子體。
2)非平衡等離子體:低氣壓下或常壓下,電子溫度遠遠大于氣體溫度的等離子體。如低氣壓下DC輝光放電和高頻感應輝光放電,大氣壓下DBD介質阻擋放電等產生的冷等離子體。

 

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